二手 USHIO UMA-802-H55RM #9226138 待售

USHIO UMA-802-H55RM Exposure Equipment是为干蚀刻和精密光刻工艺创建的集成曝光解决方桉。它具有紧凑的设计,能够进行高性能、高精度的处理。该系统非常适合各种曝光应用，包括光刻、粉末金属化和介电膜形成。该单元具有优化的基板级,可为X轴和Y轴提供高水平的位置精度。这允许精确的曝光控制和可重复的结果。内置的舞台还包括可调节的倾斜角，允许用户对曝光处理进行垂直和水平的修正。UMA-802-H55RM Exposure Machine还具有200 mm现场同步功能。此特征使用镜像反演机构执行基板级的X和Y运动。这保证了无论在何处发生曝光，场大小始终相同。该工具使用嵌入式快门和计时器,允许用户控制任何样品曝光的时间。这有助于减少暴露的任何变化，确保每次结果一致。此外,快门可以由用户进行电子调整,从而获得更精确、可重复的结果。USHIO UMA-802-H55RM Exposure Asset有内置晶圆和掩码警报检测模型。此设备可确保识别掩码对齐和晶圆配准中的任何缺陷,并提醒用户采取纠正措施。这可以大大提高曝光处理的一致性。UMA-802-H55RM曝光系统还具有倾斜和位移检测单元。这台机器与晶圆和掩码警报检测工具协同工作，允许用户在曝光仍在进行时诊断和纠正任何错误的对齐方式。最后，资产配备了高端真空模式。这种设备防止向环境中引入颗粒或污染物，并确保系统保持无灰尘和碎片。这种真空装置还能防止晶片粘在腔内，这会对机器造成损坏和耗时的维修作业。USHIO UMA-802-H55RM Exposure Tool是一种高精度的集成曝光解决方桉,用于干蚀刻和光刻工艺。它旨在提供可重复的结果,并配备了200 mm现场同步功能、可调节倾斜角、嵌入式曝光计时器和高端真空资产等功能。这些功能确保用户能够在整个处理任务过程中保持高度的准确性和一致性。