二手 USHIO UMA-802-HC551RM #9226136 待售

USHIO UMA-802-HC551RM是为半导体生产过程设计的曝光设备。它是一种多轴曝光系统，利用全孔径光学单元进行广泛的应用和高精度曝光。该机具有高精度和可重复性,可精确、均匀地曝光.工具最大的部件是曝光阶段，它是一个基板支架，设计用于在曝光过程中固定和操纵基板。它设计了6个自由度，允许基板和晶片卡盘的完全旋转和定位。它还配备了高精度、高速的伺服电动机，允许微小可重复的位置精度和快速的加速度。资产还利用激光驱动的数据编码模型，用于精确操纵每个暴露点的坐标。这种设备的设计目的是提供准确和瞬时的接触数据，允许精确和受控的接触。该系统的光学单元由一个高分辨率消色差透镜组成，以及用于多次曝光的分束器。本机设计为提供绝佳的均匀性曝光，具有高强度和低失真从消色差透镜。该工具还被设计为能够处理各种曝光角度，允许更精确和精确的图桉和曝光覆盖范围。最后，该资产利用了高强度光源，提供了最佳的曝光强度水平，从而提高了吞吐量，提高了产量。该模型采用多种输入选项设计，包括直流控制设备、电压控制系统和激光功率控制单元。这些系统的设计允许根据用户的需要进行多种类型的曝光控制和定制。UMA-802-HC551RM的所有这些特性使其成为一台高度可调、功能强大的机器。它旨在提供可靠和可重复的曝光，为不同类型的基板提供多种选择。它是一个理想的半导体生产工具，因为它的可靠性和能力，配置曝光设置，以最佳的产量。