二手 USHIO UMA-802-HCV59AL6 #9128625 待售

USHIO UMA-802-HCV59AL6是由照明和图像处理领域的全球领先技术公司USHIO开发的曝光设备。它结合了强大的氙弧灯和先进的光学系统以及高度精确的控制单元，为高清和超高清光刻提供了理想的曝光解决方桉。该机的设计符合现代光刻工艺的高精度光学要求，包括细线印刷和接触孔光刻。这是通过双波长紫外线曝光源实现的，该源向晶圆表面传递强烈的光脉冲。该工具在高功率和稳定性下运行，同时即使在快速处理速度和高暴露剂量通量下也能保持准确性和可重复性。该资产采用闭环PC/PLC控制模型和自动曝光设备，快速准确地控制设备的剂量水平。曝光系统配有直观的图像处理软件包，用于即时分析、流程趋势分析和流程故障排除。该软件能够执行复杂的图形查找操作,并提供对过程结果的实时监控。此外，UMA-802-HCV59AL6还设计用于最大程度地防止高能光照。该机采用先进的风冷机消除电弧灯产生的热量，光学元件由紫外线透明的材料组成。刀具的高度高级放置和准确性可确保其产生最高质量的曝光。USHIO UMA-802-HCV59AL6具有高功率、精确度和易于集成的特点,为光刻工艺提供了可靠的集成解决方桉。