二手 USHIO Unihard #9251839 待售

USHIO Unihard是一款用于半导体加工的曝光设备。它具有自动曝光系统，以确保在IC生产线中保持一致和可重复的晶圆曝光。该单元设计用于处理从4英寸到12英寸晶片的各种尺寸，速度高达每小时24个晶片。它配备了高精度的X-Y级，以确保在宽晶圆尺寸范围内均匀曝光。Unihard还设有先进的光学机器，其中包括集成透镜、照明工具和投影光学器件。这种光学和照明的组合确保了整个晶片均匀均匀和清晰分辨率的所需剂量分布。镜头的光圈可达300毫米，覆盖范围很广。照明设备采用了先进的光束成形技术，能够在整个晶片上保持明亮和均匀的曝光。该型号还具有多种先进的控制系统，如聚焦系统、温度控制和曝光控制。焦点设备调整X-Y级，确保精确聚焦和可重复性。温度控制确保了整个晶片的均匀曝光，而曝光控制系统则确保了一致的曝光时间和剂量。该单元还包括一些安全功能，包括一台晶圆处理机和一个用于快门的自锁工具，以及一个具有紧急关机能力的安全互锁资产。此外,晶片可以安全地放入曝光阶段并从曝光阶段取出,而无需任何手动干预。USHIO Unihard还提供多种基于软件的自动化工具，如图像处理、模式识别和数据分析。这些工具使用户能够执行复杂的操作,如曝光优化、配方开发、非统一校正和曝光验证。综上所述，Unihard是一种高精度和高度自动化的晶圆曝光模型，旨在确保在IC生产线中保持一致和可重复的晶圆曝光。该设备具有各种先进的光学、控制系统和自动化工具,使其成为最苛刻的半导体工艺的理想解决方桉。