二手 UVEXS 850A #9021065 待售

UVEXS 850A是一种综合性的自动化曝光设备,为光刻研究和制造行业设计,具有可扩展性和灵活性。它能够以晶圆、面板或片状形式暴露模具、金属、环氧、玻璃和聚合物基材类型。使用此自动曝光系统,可以曝光200 x 200 mm的掩模尺寸和基板区域。850A设计易于集成到光刻工作流程中,用于研究和生产情况。它能够再现连续的多轨曝光，以及连续的可变单线封锁和移位曝光。此外，该单元还配备了灵活的晶片夹紧和视觉对准功能。后者通过识别设备中内置的基准和对准目标,实现基板对准,精度可降至2微米。对于机器控制，UVEXS 850A配备了集成触摸屏。此GUI允许操作员快速准确地调整和修改工具的曝光参数,并轻松监控资产性能。远程控制接口可用于通过以太网与设备通信。此功能允许进行远程监视和诊断,以及由外部系统进行控制。为提高光学性能,850A由253.7nm的无限制光源供电,最小线宽为0.25 μ m,可实现高分辨率的背对着底面曝光。此外，该型号还配备了一个电动机驱动的鼻孔，允许在同一方向以可变角度最多45度的曝光。该装置配有照明设备的自动清洁站，以及自动晶圆和基板处理。UVEXS 850A还包括一个先进的映射机制，它允许用户以出色的重复性和准确性准确测量整个基板上的暴露同质性。850A是光刻研究和制造业的综合自动化解决方桉,提供了一致和可靠的曝光性能所必需的特性和功能。该系统能够产生可重复的结果，极好的线路分辨率降低到0.25微米，精密对准水平降低到2微米。它易于设置、操作、监控和控制,允许用户根据自己的需求快速、准确地调整和修改曝光参数。UVEXS的灵活性和可扩展性850A确保可靠和可重现的曝光。