二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Avatar #9311356 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Avatar是一套自动化材料处理设备,旨在提高各类半导体制造的吞吐量和盈利能力。AMAT Avatar偏爱闭环反馈和自动化控制系统,极大地增加了清洁室环境中的材料吞吐量。它涉及晶圆粘合、蚀刻、清洁、检验和计量等过程。APPLIED MATERIALS Avatar创新的闭环设计利用MEMS和其他化学传感器在整个周期内提供反馈。动态反馈系统允许系统调整速度、压力、温度和湿度等参数以优化性能。Avatar配备了优化材料附件的自动化晶圆粘合。结合可以用光子学粘合剂结合和静电结合每秒1000键来完成。晶圆粘结工艺提供极快的吞吐量，是高产生产作业的理想之选。蚀刻过程通常采用采用多种湿蚀刻和干蚀刻方法的先进化学蚀刻工具完成。利用AMAT/APPLIED MATERIALS Avatar，通过自动晶圆对准、精密磨料浆料控制和恒温供水加快蚀刻过程。通过使用连续测量和过程控制，还改进了批量蚀刻工艺。AMAT Avatar的清洁过程是使用机械洗涤和化学去除等多种技术完成的。自动晶片机架机械手操作清洁过程，提供高效、一致的清洁，污染最小。清洗过程精确度高，产生可重复的清洗结果。检查过程是使用先进的光学检查系统进行的。自动晶圆识别和聚焦检测可减少误报并确保准确的结果。高速、高分辨率传感器检测缺陷并测量关键参数,以保持过程控制和产品质量。最后,APPLIED MATERIALS Avatar的计量工具提供了对过程变量的精确分析和控制.高速、高精度的测量可确保精确测量沉积速率、蚀刻速率和线宽等参数。这样可以确保持续管理和监控整个过程以获得最佳性能。总体而言，阿凡达代表了半导体制造技术的重大飞跃。其先进的自动化反馈系统和高速吞吐量功能为清洁室环境提供了优于其他类似流程的优势。它结合了先进的蚀刻和清洗、精确的检验和精确的计量能力，为过程控制和优化提供了独特的工具。借助AMAT/APPLICED MATERIALS Avatar,半导体制造商可以放心地确保其工艺处于最佳水平。