二手 ATMI 3CHEM #9395590 待售
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ATMI 3CHEM是一种设施设备，旨在为薄膜工艺和材料的开发和优化提供先进的平台。设备的主要部件是沉积室、过程控制设备和层表征系统。沉积室是一个闭环空运反应器，具有加热的底物支架和多种气体的组合化学注入单元。该腔室为先进的薄膜沉积工艺和材料提供了理想的环境，允许对压力、温度、气体成分、气体流率等工艺参数进行精确控制。工艺控制机为保证沉积薄膜的最佳工艺条件和均匀性而设计，提供了对沉积过程的手动和自动控制。层表征工具允许对沉积过程和薄膜进行化学、物理和电气特性表征。它具有测量反射计、厚度、折射率、应力和应变、形态、薄膜粘附和稳定性、电导率、界面能量和稳定性、功函数、光学常数以及跨多个晶片的均匀性的能力。最后,3CHEM设备提供了一套先进的分析工具,使研究人员能够快速生成数据的视觉表示,以及分析、解释和生成沉积过程和薄膜的可行见解。ATMI 3CHEM的其他功能包括：数据分析和过程优化的自动化算法、可扩展性和易用性的开放资产体系结构,以及薄膜工艺和材料的综合库。总体而言，3CHEM是一个综合设施设备，旨在为研究实验室和生产设施提供广泛的工具和能力，以开发和优化薄膜工艺和材料。
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