二手 ATMI / ECOSYS CDO 862 #165259 待售
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ID: 165259
Abatement system
H2 reagent addition system for treatment of NF3/F2
Chamber clean applications utilizing remote plasma, high acid, low particulate byproducts
Multiple Inlets: (6) inlet anodized aluminum entry assembly injects H2 to react with F2 to form HF
(3) Chamber tank with corrosion resistant recirculation pump (0.33 gpm freshwater utilization)
All wetted metal components are Hastalloy to mitigate corrosion.
ATMI/ECOSYS CDO 862是一种先进的设备,旨在使各种测试和测量过程自动化。它是由中央数据采集(CDO)和环境控制系统(ATMI)两个独立单元组成的模块化设备。CDO是设备的核心,它提供了功能强大但易于使用的图形用户界面,可以从中配置数据采集和测试协议。它还提供了广泛的功能,以促进高效的数据管理和日志记录。拥有多个通信端口,CDO可以与多个外部仪器接口,如数据采集系统、信号分析仪、电源和传感器。ECOSYS模块旨在控制与正在进行的测试或实验相关的环境测试条件。其先进的温度和湿度控制使得在测试过程中精确调节环境成为可能。这包括温度和湿度控制、调节通风、热管理和环境预调整。ATMI/ECOSYS还提供监测和分析压力、烟雾、振动、光、噪声和其他环境输入等参数的能力。ATMI CDO 862提供了一套全面的软件工具,可用于配置和监控测试参数。所有必要的数据都会立即保存到机器的内存中,以便以后检索和分析。这包括测量单位、控制设置、测试协议和结果等参数。该工具还提供遥控能力,可与数据采集系统、实验室信息管理系统、远程监测系统和工业自动化系统等其他系统集成。ECOSYS CDO 862是适用于各种测试和测量过程的理想解决方桉,在一个软件包中提供高性能和灵活性。它旨在为许多测试应用程序提供准确可靠的数据采集和控制。凭借其先进的功能,它使用户能够优化实验,同时增加他们在实验室内操作的功能。
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