二手 BOC EDWARDS TPU 4 #293637343 待售

中银EDWARDS TPU4是为薄膜沉积、离子束蚀刻和表面改性而设计的设施设备。它是一种紧凑、多用途的单室设备，用于薄膜加工应用。该系统适用于研发、试点生产和生产应用。TPU 4由Pulsed filament提供动力，它允许一个连续的过程，而不需要关闭一个主要的清洁程序每24小时。它能够以高速率的厚度和成分的精确控制来沉积优越的薄膜。它还通过提供出色的可重复性、灵活性和过程稳定性来促进高级过程控制功能。中银EDWARDS TPU 4能够实现大面积均匀沉积，污染物速率低，具有集成的原位诊断能力。TPU 4的主要部件是主处理室、控制器单元、用户界面和专用的联网计算机。主加工室是由不锈钢构成的圆柱形室，使用两扇熔融石英门进入加工室和检修口。室内有各种工艺和组件，设计用来沉积和蚀刻薄膜。这些部件包括基板支架、热丝枪、基板偏置单元、离子源、萃取电极、屏蔽电极和快门机。热丝枪产生了一系列原子和分子物质，用来将薄膜沉积到基质上。基板偏置工具用于对基板材料施加电偏置，使其与来自热丝枪的高能物种和引入腔室的气体物种相互作用。离子源用来制造一束可以用来蚀刻薄膜的高能离子束。提取电极和屏蔽电极有助于控制离子束，而快门资产则用于调节气体流入腔室。用户界面旨在方便设备的轻松高效运行。它由一个液晶屏和一个菜单驱动的控制面板组成,用于输入设置参数和进程序列。它还包含一个图形显示,允许用户查看沉积过程。控制器单元由连接到网络机器的一系列微处理器和外围控制器组成。它用于控制设施的所有组成部分，并用于监测和显示流程序列。此外，中银EDWARDS TPU 4还配备了机械联锁、车门安全开关和内部抗干扰保护车型等多种安全功能。它还配备了先进的真空监测设备，在发生任何危险真空情况时向用户发出警报。TPU 4是一种价格合理、可靠且高性能的设备,非常适合各种单室应用。它能够胜过传统的沉积和蚀刻技术。BOC EDWARDS TPU4具有先进的工艺控制功能和集成的现场诊断,可为用户提供高效、安全和经济高效的解决方桉,以满足其薄膜沉积、离子束蚀刻和表面修改需求。