二手 BOC EDWARDS TPU-STD #293592790 待售

中银爱德华兹TPU-STD是为高精度薄膜沉积而设计的真空设备。这个非常小的系统拥有较低的成本,对于一个需要极高精度的过程而言,它具有很高的可靠性和经济效益。它非常适合用于工业规模的沉积工艺，如半导体加工，其中精确的薄膜厚度是至关重要的。TPU-STD包括一个全金属密封超高真空（UHV）室，底压为2 x 10^-8 Torr。它有一个不锈钢闸阀，通过将腔室与外界环境密封来帮助维持低基压，防止不希望的气体或颗粒进入。BOC EDWARDS TPU-STD还包含一个自动涡轮泵，泵送速度为每分钟120升，使用户在腔室内达到极低压力，疏散时间短。TPU-STD支持薄膜和/或涂层的自动沉积。它配备了几个自动质量流控制器，允许在室内溷合时精确控制每种材料。此外，它还具有屏蔽磁控管溅射目标，可用于在溅射沉积过程中产生精确的薄膜。BOC EDWARDS TPU-STD的开放式腔室设计，允许使用者在不打开腔室的情况下，将样品放置在内部并收回。TPU-STD还有一个数字显示屏，为用户提供了整个沉积过程中所有泵参数的状态概述。此外，它还包括一个自动背景压力监测仪，用于检测沉积过程中压力的任何不良变化。如果单位压力超过用户定义的阈值,它还可以实现自动关闭。总体而言，中银EDWARDS TPU-STD是一种可靠、经济实惠的真空机器，可用于高精度薄膜沉积。它体积小、拥有成本低、沉积精度高,因此能够用于需要卓越精度的行业。