二手 EDWARDS Atlas MK3B #293670650 待售

EDWARDS Atlas MK3B是设计用于将材料真空沉积到硅片等基板上的设施设备。它利用电子束蒸发和直流电溅射过程。电子束过程允许精确输送前体材料，以便在基板上产生均匀的所需材料涂层。溅射过程用于将较厚的金属膜沉积在基板上，同时在沉积过程中保持均匀的层厚度。EDWARDS ATLAS MK 3 B具有集成真空处理室，旨在提供高热和机械稳定性。它配有直线轴承，以保证电子束枪的平滑和精确运动。此外，它还具有一个高性能的机械泵，专为快速疏散腔室而设计。该腔室配有多种传感器，用于监测温度和其他工艺参数，以及a具有集成绝缘系统，以减少外部噪声和干扰。Atlas MK3B还配备了功能强大的软件包，能够对沉积过程进行全面控制和监测。该软件具有图形用户界面，便于处理沉积参数，如沉积速率、厚度、温度和其他工艺参数。此外，软件还提供了对沉积厚度的实时数据记录，从而能够准确监测沉积过程。此外，ATLAS MK 3 B被设计为与各种基板兼容。它能够处理直径不超过200 mm的晶片基板,并具有可调节的端点和快门开关,使沉积过程能够在达到预定义厚度或覆盖范围时停止。该机还设计了内置基座支撑基板，以便对大型基板进行可靠的处理。EDWARDS Atlas MK3B是用于材料生长、钝化和设备密封的真空沉积工艺的绝佳设备。凭借其强大的溅射和电子束蒸发过程、先进的集成功能以及实时数据记录功能，用户可以放心地将材料精确地沉积到基板上。