二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 500A #9230836 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 500A是一款功能令人印象深刻的多功能设施。它为制造各种设备提供了坚实的基础，如半导体、显示器和纳米设备。该设备包括四个核心部件，如光刻工艺头、基板处理机、沉积设备和供气系统。光刻工艺头是一个精密的运动单元，使舞台和光学的运动，使用户能够制造出具有精确特征尺寸的装置。这台机器由每个线性轴上的导轨和空间夹具组成，允许运动噪音极低。该结构有助于最大程度地减少定位误差和过程中的漂移。基板处理程序的设计目的是通过提供清洁的基板环境和温度均匀性来减少颗粒污染并实现可靠的薄膜沉积。这一组件还支持多种基板载体，以覆盖从小基板到最大200毫米尺寸的大基板的各种设备尺寸。沉积工具用于将材料薄层沉积在具有精确尺寸控制的基板上。它支持所需的温度和压力设置,用于合金和复合材料的沉积.资产的巨大容量使得能够同时引入包括挥发性气体在内的多种气源，允许材料在多个基质上独立沉积。最后，气体供应模型提供了与沉积设备的完美兼容性，在制造过程中提供了安全可靠的化学气体供应。它有一个储存容器、一个气体溷合器、一个针阀块和一个质量流量控制器，全部协同工作，为沉积系统提供可靠、稳定、高速的气体供应。综上所述,FSI 500A具有优化的结构和组件,可实现精确的过程、最佳性能以及高度的安全性和效率。上述四个核心组件，加上其融入制造过程，使其成为制造过程中必不可少的一部分。