二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PROTEUS I #9235351 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PROTEUS I是一种设施设备，设计用于处理半导体工业中的过程，特别是原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）。FSI PROTEUS I的应用可以用来定位和对齐底物作为这些过程的一部分。它可以自动准确地改变温度和大气，监测沉积过程。TEL PROTEUS I是专门设计用于现有半导体制造系统的专用腔室。它有一个超小型的圆柱形腔室，针对每一个单独的工艺进行优化。使用感应线圈加热基板。这与用于生成高温对流辅助沉积（CAD）环境的强大微波信号相结合。TOKYO ELECTRON PROTEUS I能够自动准确地控制温度和气体流动。它配备了利用专利高效滚筒设计的螺旋桨泵。这是结合低流量气体控制系统，能够准确和精确地控制气体流动。运行压力在一百到一千托之间，温度范围在摄氏二十五到五百度之间。PROTEUS I有一个实时监控器，用于原位沉积分析。显示器在沉积时能够读取每一层的厚度、速率、均匀性和组成。这样可以确保沉积过程符合规范。此外,监视器还可以检测过程中的异常并向操作员发出警报。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PROTEUS I有一个多功能遥控器单元，为操作员提供从远程位置监控和控制过程的能力。这消除了步行到机器进行监控和调整的必要性。它还能够与生产线内的其他机器接口。FSI PROTEUS I具有低噪声、高效的风扇电机。这使设备能够在清洁室中使用,而不会影响其他过程。此外，它还有一个专业的气体和真空系统。这样可以快速擦洗和疏散腔室,以最大程度地减少等待时间。最后，TEL PROTEUS I是一种设施设备，旨在确保半导体行业的工艺，如ALD和CVD，以高效和准确的方式进行。它具有很高的准确性和可控性，为操作员提供了从远程位置监控过程的能力。此外，它的低噪声、高效的风扇马达使得它适合清洁房间。所有这些特性使得TOKYO ELECTRON PROTEUS I成为半导体制造的宝贵工具。