二手 SAES PS7-MGT40-H-2 #293751069 待售

SAES PS7-MGT40-H-2是为物理气相沉积（PVD）工艺设计的高性能沉积设备.该系统具有将均匀、优质的薄膜沉积在大基板上的能力。该装置配有数字闭环温度控制装置，具有广泛的工艺温度范围。它是由一个12袋的旋转时钟驱动到200 rpm的旋转速度，和一个侧门冷却机与加热的观察窗口。电源控制以及速度控制集成在一个带有面板高度控制的工具中。该资产的结构基于标准的钟形罐设计，为晶体及其环境提供了完全统一的加热。基板支架放置在模型的热量中，采用可变角度驱动器设计，以优化晶体生长速率及其均匀性。这种设备的一个特点是能够倾斜腔内的基板以增强均匀性。系统中集成了电子组件,用于控制开启/关闭和冷却过程。该单元被封闭在温度控制的不锈钢外壳内。这样可以确保PVD工艺的最佳条件,并有助于均匀的腔室加热。此外，该机还配备了一个监控工具，可对沉积过程进行全面控制和追踪。显示器具有可调节的Step扫描资产以及必要的控制器、阀门和传感器。该单元可以根据不同的工艺温度和压力进行调整，从而实现准确的速率控制。此外，该模型还有一个简化的维护和操作程序，允许对设备进行例行检查。这包括清洁主室、开门查看和维护以及更换组件。集成的安全联锁为操作员在操作过程中提供了尽可能高的安全性。总之，PS7-MGT40-H-2沉积系统是物理气相沉积过程中一种高效、准确、易于使用的工具。它还提供了卓越的均匀性和高品质的性能，同时在运行和维护过程中提供了极大的安全措施。