二手 TEL / TOKYO ELECTRON 960 #9396140 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON 960是一种顶级设施设备,结合了先进的自动化能力和特定的基板要求。这种设备提供了灵活性并符合制造需求,使其成为半导体行业中许多工艺的理想选择。TEL 960的望远镜和成像设备以其亚微米精度提供了高精度。这样可以测量精确的位置,从而实现低缺陷操作。安装在设备中的振动控制系统进一步提高了其稳定性,从而实现了更安静、更高效的交付。其内置的视觉识别单元支持快速的产品识别和检查。TOKYO ELECTRON 960的先进自动化能力旨在在实现长期高产生产的同时降低人工成本。装置的机械臂设有自适应运输机,一次最多可移动8个晶圆。这样可以在不同的操作点之间顺利地转移材料和组件。960配备了非真空环境。这可以保护产品负载免受真空干扰的影响,并最大程度地减少材料损失,使其成为高效的工具。此外,非真空环境还降低了维护成本,与其他设备相比,保修期更长。TEL/TOKYO ELECTRON 960还具有可调运输平台。这允许在同一环境中运行不同的进程,并以最低的安装成本创建一个通用的设施。对于先进的电源控制,TEL 960配备了高功率电源。这保证了快速激活和一致的产品质量,即使在运行多个进程时也是如此。TOKYO ELECTRON 960在效率和精度上都是许多半导体工艺的理想解决方桉。以其先进的自动化能力、非真空环境、可调运输平台、高精度成像资产、高功率源,允许生产低产损耗的优质产品。
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