二手 ATMI / ECOSYS Unichem-2900 #9154739 待售

ATMI/ECOSYS Unichem-2900是一种最先进的晶片和掩模洗涤器,可自动对晶片表面和掩模进行清洁和污染控制。ATMI先进的自动化清洁和污染控制功能Unichem-2900使其能够用于半导体、平板、太阳能电池、光电子和医疗设备生产线。ECOSYS Unichem-2900采用先进的超声波清洗技术，有效和统一地清洁晶片和口罩，同时保留部件基板和口罩图桉。该装置包括一对直径10英寸的磨砂刷和蒸发喷水系统，提供对洗涤过程的精确控制。使用磨砂刷的振荡运动进一步增强了清洁过程，提高了清洗过程的均匀性，并最大限度地降低了基材受损的风险。此外,Unichem-2900还在掩模侧安装了线路堆积系统,以防止意外从工艺管线中清除零件或碎屑。此外，它还在晶片一侧设有防粘清洗系统，防止光刻胶、薄膜和有机残留物在加工过程中粘附到晶片上。ATMI/ECOSYS Unichem-2900具有独特的模块化设计，可与其他兼容的工艺设备集成，如沉积室、CMP单元或检查系统。这样就可以在加工晶片和条带之间切换,而无需手动干预。该设备的占地面积也相对较小，可以使用简单的触摸屏界面操作，使其成为各种生产线的紧凑且用户友好的解决方桉。总体而言,通用、高效的ATMI Unichem-2900自动晶片和掩模洗涤器是希望采用经济高效、精确高效的清洁和污染控制工艺的生产线的理想解决方桉。该设备也可以定制以满足特殊的应用要求。