二手 ADVANTEST M 6541 #293759966 待售

ADVICEST M 6541是一种高性能晶圆处理器，用于在半导体製造业中运输、组装和对齐100毫米晶圆或标线。此处理程序基于VMEbus体系结构构建,该体系结构为设备扩展提供了开放、模块化的设计和灵活性。M 641支持包括晶圆洗涤、晶圆分选、测试和晶圆碰撞在内的生产过程。M 6541利用包含所有驱动元件和六度运动（X、Y、Z、θ、Φ和ρ的单个S型臂拾取头。这使得处理程序能够创建半导体过程中所需的精确定位公差,低至0.001 mm。此外，它的Y轴范围大大延长了± 125毫米（或-150毫米带有可选的升力机构），以覆盖几乎整个标准晶圆尺寸的范围。为了提高精度，ADVANTEST M 6541配备了一个高精度的绝对编码器，给系统反馈头的当前位置。此绝对编码器单元由英特尔8XC196的16位MPU控制,通过高速查找和向下查找处理确保准确性。这使得M 6541处理晶片的速度比增量编码器机器快4.5倍,且错误率为0.3微米。ADVANTEST M 6541使用真空安全门工具最大限度地减少处理程序移动的晶圆对环境的污染。这种真空安全门是一种两波长的可互换安全门，其设计目的是防止设施外的粒子进入，防止晶片离开设施。VSD提供了一个微处理器控制资产,它在允许打开和关闭运动之前检查门的位置。此外，M 6541为其操作的标线处理部分配备了晶片断裂检测模型和ESD保护。断裂检测设备使用带有两个上下比较警报器的电荷计，并检查晶圆中的任何断裂和对标线的任何损坏。ESD保护系统确保在处理过程中不损坏标线,并由MPU使用16位ADC控制。ADVANTEST M 6541是一种高度精确的晶圆处理程序，设计用于在半导体制造过程中提供100毫米晶圆从一个工作站到另一个工作站的可靠和安全的传输。它采用VMEbus架构构建,带有英特尔8XC196 MPU提供控制,并提供多种功能,包括高精度绝对编码器、真空安全门、断裂检测和ESD保护系统。所有这些功能都允许M 6541通过降低产品故障风险来提高半导体生产效率和降低成本。