二手 DELTA CASTLE LX 7500 #9166016 待售
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已售出
ID: 9166016
优质的: 2000
Tri-temp handler
Temperature: Tri-temp (-60 ~ +160 Deg C)
Test site:
Single
Dual
Quad
Vertical auto tray:
1x Input
8x Output automated
Buffer tray compartment: 1x Automated
Power supply:
200-240V AC
30 Amp
50/60 Hz
3 Phase
Power consumption rate: 12.4 kVA (Max)
Compressed air supply:
90-125 PSI
15 CFM
Dry air
Light tower: (3) Light (green, yellow, red)
Ionizer: No
2000 vintage.
DELTA CASTLE LX 7500是一款能够单次处理多达7500晶圆批次的处理程序,具有200毫米以上的大处理区域和内置高速晶圆处理设备。该系统还采用了固定夹具设计,以帮助确保晶圆处理的安全性。它具有直观易用的触摸屏界面,可快速设置和重新配置不同的参数,从而满足每个批次的特定处理要求。LX 7500处理程序包括一个单独的手动加载平台,并有一个专用端口与可选的外部拾取和放置设备集成。它还有一个串联传输单元,可以将材料从处理程序快速移动到下一个过程。DELTA CASTLE LX 7500提供了一种集成的晶片提升机,带有气动控制真空头,用于在基板上拾取和放置晶片。处理程序还带有一个集成的基板夹具,以提供安全和均匀的基板处理。操作员可以轻松地在标准操作和夹具操作之间切换。此外,LX 7500还配备了一个独立的晶片分离器工具,用于在处理过程中拆分晶片。分离器资产由两个自清洁、对准不同半径的车轮组成,这些车轮可以在基板中强制翘曲以进行分离。这些轮子的尺寸可以调整,以最适合晶片的尺寸。安全是DELTA CASTLE LX 7500处理器的优先事项。处理程序包括可锁定盖,以进一步确保晶圆的安全性。处理程序还具有E-stop、传感器和联锁指示器,以进一步确保操作过程中的安全。在维护和故障排除方面,LX 7500具有自动晶圆清洗周期和集成诊断模型,可帮助诊断和排除任何问题。使用处理程序可最大程度地减少停机时间,并且在解决任何问题后可以快速重新启动设备。DELTA CASTLE LX 7500提供了广泛的选项,并且能够与各种基材和晶片一起操作,使其成为同类产品中最好的之一。
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