二手 MANJER ENGINEERING AHPAT-3000PC-50 #9352523 待售

MANJER ENGINEERING AHPAT-3000PC-50是一个自动化处理程序,旨在使基板在半导体制造过程中的传输自动化。它具有50毫米的屏蔽安全防护装置,能够在没有物理接触的情况下将基板移动至610毫米x 610毫米。处理程序的标准配置包括一个8卡盘晶片旋转木马和一个可编程中心索引孔，用于晶片处理精度。AHPAT-3000PC-50长3.2米，宽2.1米，高1.5米，为基材加工提供了一个大的工作区。处理程序可以在X-Y平面以1.5 m/s的速度移动，在Z中以0 m/s的速度移动，处理程序可以在彼此之上堆迭多达四个基板，方便处理，并在相邻基板之间提供高达25度的倾斜。MANJER ENGINEERING AHPAT-3000PC-50提供了出色的热管理设备，在整个过程中自动将晶圆温度保持在安全水平。处理程序上的固定系统还包括一个自动参考平面（ARP）,它有助于确保倾斜基板的对齐。此外,处理程序的聚四氟乙烯衬套最大限度地减少基板振动,并最大限度地提高晶圆精度.AHPAT-3000PC-50采用真空装置，设计为与标准真空装置完全兼容。MANJER ENGINEERING AHPAT-3000PC-50还配备了集成机械视觉机，并配有电动晶圆旋转木马。此外,该处理器还设计用于连接标准的工业机器人控制器并与之兼容。AHPAT-3000PC-50是各种半导体制造过程中快速、准确、可靠的DIY基板处理的理想选择。其标准的安全防护和集成视觉工具使其特别适合需要精确基板操作的敏感应用或工艺。其倾斜特性和晶圆旋转木马的结合使其能够同时处理多达四个基板，从而提高了生产流程的可靠性和效率。此外，其集成的真空资产和热管理能力确保基板的安全性和MANJER ENGINEERING AHPAT-3000PC-50产生的结果的质量。