二手 RASCO SO 1000 #293765490 待售

RASCO SO 1000是用于半导体制造行业的全自动处理程序，用于在各种洁净室环境中加工晶圆。处理程序可以配置为晶圆通量和清洁的传递臂、晶圆生长的传质机或集成的基板传递臂。RASCO SO1000由四个主要组件组成：晶圆处理接口、机器人控制器、过程控制模块和外围设备。晶片处理接口是设备的一部分，与扫描仪、晶片输入输出设备、晶片处理室等各种设备连接。它负责向系统的其他部分发送命令，解释从机器人控制器接收到的数据，并控制单元操作的完成。机器人控制器负责控制机器人的运动和位置以及处理速度和加速度等各种机器参数。它具有一个专门的计算机板,它包含一个功能强大的16位RISC处理器、几个I/O接口以及一个通信端口,该端口允许与机器的其他部分进行通信。过程控制模块用于设置、监控和控制诸如气体、温度和湿度等过程参数。它包含单元格模板、晶片重置函数和批分析等功能。外围设备用于将机器人与工具的其他部件连接起来。其中包括盒式装载机和卸载机、晶圆托盘传输设备、晶圆索引器和温度控制单元。晶圆盘传输装置用于在卡带加载器和卸载器与晶圆索引器之间传输晶圆。晶圆索引器用于支持晶圆的高速排序。RASSO SO 1000处理程序是半导体制造行业的高效、可靠、灵活的解决方桉。适用于通量、清洗、蚀刻、沉积等多种操作。其全面的功能组合,加上强大的设计,使其成为一台可靠可靠的机器,可满足您所有的晶圆处理需求。