二手 YOKOGAWA / ANDO AHM 861 #9376009 待售

YOKOGAWA/ANDO AHM 861是一款设计用于半导体工厂生产线的自动处理机。它是一个高度自动化的解决方桉,简化了八英寸以上晶圆处理的过程。该机既适合高端生产，也适合正常生产，允许高效处理各种晶圆尺寸和操作。ANDO AHM 861是模块化的多功能单元，非常适合需要大量生产晶圆的生产线。该单元支持广泛的操作和过程,包括传输、加载、卸载、索引、激活、激活、界面和视觉检查。它配备了多个自主的独立移动车厢，除了主转移机器人。这使得从输入到输出的精确晶圆传输成为可能。该装置还与先进的检测设备集成在一起，该设备设计用于在工艺之前检测晶圆的表面缺陷。YOKOGAWA AHM 861专为易用和维护而设计。操作员能够通过直观的图形用户界面配置和调整参数、定义流程操作以及监控系统性能。它包括高度优化的零件冷却单元,可确保稳定运行并降低维护成本。它还允许在维护前后快速重置,以最大程度地减少停机时间。AHM 861是需要大批量生产的晶圆处理应用的理想选择。其模块化设计、先进的检测机、直观的用户界面以及维护友好的特点，使其成为工厂生产线的可靠解决方桉。此外,它的小巧尺寸使其能够轻松地集成到大小各异的工厂中,从而实现高效的生产和操作可扩展性。