二手 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #171537 待售
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AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B离子植入器和监控器是一种在实验室和半导体制造厂进行晶圆离子植入的强大而高效的设备。它为半导体制造过程中使用的植入程序提供了最高的精度和可靠性。先进的离子光学设备能够保持很高的剂量均匀性,即使植入能量也很高。离子植入器由一个不锈钢真空室、一个束线套和一个高分辨率的束控制系统组成。室内放置了一组电极,用于加速和减速离子束。梁线护套包括围绕梁线的三个腔室,通过触点提供电馈电,防止束线及其组件受到污染。HP 8970 B先进的光束控制单元允许准直仪和漂移管机精确、可重复对准。这样可以在宽能量范围内实现精确的光束成形和精确度-高达1.50 Kevs。可以使用优化技术套件进一步优化梁,该套件包括自动优化(AO)和自动倾斜校正(ATC),它们使您能够创建最佳梁以实现最大的均匀性和准确性。AGILENT 8970B能够实时监测植入过程。它包括一个光学显微镜工具,可用于监测植入物的进展通过观察晶片的表面。该资产还允许用户定位粒子,以及提供温度控制模型。8970B还具有先进的溷合室,具有可编程的温度和剂量控制功能,用户可以根据自己的需要定制设备。KEYSIGHT 8970B还具有模式识别系统,该系统对植入过程提供强大的机器人分析,并监测污染程度。该装置能够识别特定污染物如砷、硼、铬,为晶圆提供了高水平的安全性。此外,HEWLETT-PACKARD 8970B包括一个先进的软件包,可将其集成到实验室现有的IT或自动化机器中。综上所述,AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B离子植入器和监控器是一种先进、可靠的离子植入器。其先进的光束控制工具和监控资产确保了可重复和精确的植入程序,确保了最高水平的准确性和可靠性。模式识别模型使用户能够识别和监视污染物,从而增加了一层安全性。最后,先进的软件设备使设备易于集成到现有的实验室和自动化系统中。
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