二手 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9147071 待售
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AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B是一种离子植入器和监控设备,专为高容量、高精度的离子植入应用而设计。该系统由一个高度可定制的独立控制台组成,能够同时具有植入和监控功能。这个单元被设计成在多种基板上运行,包括平面和三维晶片。双轴扫描机可以由X、Y、U、V扫描仪单独或同时控制,以提供任何植入区的精确放置。聚焦架包括四极线性加速器和允许应用精确剂量的技术。为了精确的剂量控制,控制台包括脉冲放大器、光束偏转和一个最大功率为30 kV、最大电流为20 mA的离子源。这种植入物的监视器具有广泛的诊断能力,可以确定所有剂量水平和速度的准确度。它包括一个三轴线性化特征,可以精确监测植入物的范围。该工具还包括一个内置的光监视器,它对光束的光强度提供反馈。板载读出管理资产允许在多个植入运行过程中使用数据记录功能来提高统计数据的准确性和控制。HP 8970B有几个可用的软件选项,包括用于2-4D植入的SIMPLAN Pro模式生成软件。该软件为操作员提供了一个全面的图形用户界面,用于模式定义、光束控制和剂量控制。该软件还具有漂移校正和对准实用程序,以提高梁的精度。AGILENT中集成的安全特性8970B使其适用于有害物质的应用。该模型采用导热泵送设备,以尽量减少任何有害气体,并在腔室内设置陶瓷密闭空间,以进一步防止污染。它还包括一个集成光束安全壳系统,以确保潜在危险排放的安全。最后,该装置配有全自动闭环控制单元,用于监控和调整机器性能。总体而言,这种离子植入器和监控器为控制剂量、放置位置、光束形状、光束对准和光束聚焦提供了强大的工具。集成的安全特性和可定制的软件使8970B成为高精度离子植入应用的可靠仪器。
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