二手 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9162154 待售
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AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B是一种离子植入器和监控设备,设计用于半导体器件制造的高精度离子植入。它被用于制造精细、高性能的电子电路和组件,如计算机微处理器和内存设备。HP 8970B是一种多功能且功能强大的工具,可协助设计高速、低功耗和/或高可靠性的电子元件。这些设备由离子源、离子束监测器和基板支架组成。离子源在可调能级产生离子,然后将离子对准被加工晶片的基板支架或电阻基板。离子束监测器连续跟踪离子束电流和粒子计数,并将信息传递给控制器,以确保正确的植入参数。AGILENT 8970B提供了一系列令人印象深刻的程序控制选项。用户可以在两个可能的方向上配置植入光束,每个方向的强度都可以调节,使用可调节的加速电压,并严格控制光束聚焦参数。该系统允许高通量植入操作作为基材可以我沿着它的X,Y,和Z轴移动,而不会破坏真空密封。此外,离子能量和电流水平可以根据底物的组成和要求进行精确的调整。为确保植入精度,可选的闭环精度单元(CloseLoopAccuracyUnit,CLAS)根据预设条件不断监控植入参数。万一检测到偏差,机器会提醒操作员,可以进行机械自动修正;提供对基板支架和梁的自动微调控制。KEYSIGHT 8970B包括一个直观的用户界面,可以配置植入物参数、光束轨迹和工具的受控操作。诊断和监视信息也可以由用户记录和查看,以进行故障排除或设备过程控制监视。8970B由于其扩散控制算法和电阻基板电压电源上的极限传感器,特别适合于高精度应用。该资产设计用于真正的时间延迟管理和对不断变化的环境条件的漂移补偿,这有助于最大限度地提高运行时间和准确性。HEWLETT-PACKARD 8970B离子植入器和显示器拥有令人印象深刻的可自定义选项集,是任何半导体制造专业人士的首选。
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