二手 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9268910 待售

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B是一种用于半导体制造的离子植入器和监控设备。该系统的设计目的是利用从0.5 nA到10 mA的光束电流,在很大范围的精度和角度构型下,将离子准确一致地注入基材中。HP 8970B单元为均匀性、低剂量和高剂量植入提供了良好的光束参数控制。AGILENT 8970B的特点之一是其在广泛的晶圆上植入参数的高重复性和可控性。该机采用两个kV和两个电子电压电源，以及一个DC/RF功率转换器。离子束聚焦由光束扫描工具控制,该工具可独立调整X、Y和Z轴的长度和尺寸参数。光束由加速器/偏转器资产驱动，光束电流使用法拉第杯独立测量。该模型包括波束电流监测器，以及用于记录植入参数和监控过程变量的软件。KEYSIGHT 8970B设备配备了多种晶圆载波，包括旋转和线性载波以及航天飞机。晶圆载体可以容纳不同厚度和大小范围的晶圆，并且可以处理直径最大为8英寸的晶圆。该系统是完全自动化的，可以编程为执行各种形状和大小的晶圆植入物。它还包括用于晶圆稀释或氧化的离子源单元，这在植入前可能是必需的。8970B提供精确和可重现的植入和加工条件，这对于制造高质量的半导体器件至关重要。它还为植入物分析提供了出色的监控能力，可用于优化各种应用的植入条件。该机还可用于监测光束特性，优化植入过程的精度和重复性。HEWLETT-PACKARD 8970B工具具有很高的可靠性和成本效益，被认为是离子植入应用的理想选择。