二手 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT / VARIAN E11031424 #9229243 待售

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT/VARIAN E11031424是为先进的半导体处理应用而设计的最先进的离子植入设备。它结合了强大的离子源、高精度的束线控制和全面的过程监控功能，以支持先进的设备制造方法。HP E11031424具有30 kW的离子源,具有射频（RF）偏置功能,可增强控制。该系统配有内置接口，用于控制成束光束光学器件。这样可以确保将最佳剂量的植入离子输送到目标基板上。此外,实时扫描单元提供精确、微调的光束控制,并提供精确植入功能。VARIAN E11031424还包括一个数字光束监测机，可以进行详细的过程监测。这使工具能够检测植入参数中的微小偏差。该资产还具有强大的数据收集和日志记录功能,可存储植入数据以供以后分析。此外,该模型还可用于梁的表征和工艺优化.该设备还具有坚固的开环联锁系统，为操作员提供安全和保护。这允许自动监视和强制执行预先配置的安全参数。此外,对警报和警告事件的快速响应能够确保操作安全和工作效率。该单元还增加了一个安全层，以确保以可听和视觉警报的形式向操作员提供所需的信息。总体而言,KEYSIGHT E11031424是一种强大可靠的离子植入器和监控器.它提供了一系列全面的功能,以实现先进的设备制造和确保操作员的安全。HEWLETT-PACKARD E11031424具有卓越的特性和功能,是先进半导体加工应用的绝佳选择。