二手 AIBT / ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar #9210937 待售

AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar是一款高精度的离子植入器和监视器。它用于半导体制造，允许离子精确地整合到底物中。这一过程对于先进电子产品的生产至关重要。AIBT iStar使用水平离子束将离子植入底物中。这种光束是使用离子源腔和强大的射频发生器产生的。离子源腔具有可调的加速器电压和一对可精确控制光束的偏转线圈。射频发生器使用独特的高压设置来产生高度集中的离子束。这种高浓度提高了剂量精度，而可变加速器电压提供了广泛的光束能量。ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar采用多轴扫描系统，在植入过程中允许高度的灵活性。扫描系统使用多个检流计和超快速控制器,以确保光束遵循所需的模式。IStar还包括一组检测离子植入过程变化的高级监控工具。这会告知操作员任何可能的错误,从而使过程更加可靠。最后,AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar包含了多种安全功能,以保护操作员和设备。它配备了紧急停止系统，在检测到危险时立即关闭离子束，而互锁防止高能束在没有适当冷却周期的情况下释放。还包含一个线路滤波器，以减少电火花的风险。综上所述，AIBT iStar是一款功能强大的台式离子植入器和显示器。它提供了精确、灵活、安全的植入器工艺，是半导体制造必不可少的设备。