二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9200 #9145239 待售
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ID: 9145239
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Spares for implanter, 8"
6 to 8 Inch conversion kit
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 9200 Ion Implanter&Monitor是将离子植入多种材料的先进设备。该系统提供高精度离子植入和精确控制的离子剂量输送到样品造成最小的植入损伤。它是为各种离子源而设计的,可根据所需的植入物速率和剂量用于许多应用。AMAT 9200配备了一个单一的离子源,用于控制和实施各种离子植入过程,可以针对特定的底物进行定制。它可以处理直径不超过4英寸的基质,植入深度不超过8微米。该装置采用高性能的两阶段程序进行设计,以确保即使是最具挑战性的材料也能获得最佳的植入效果。两阶段的方法允许使用者根据需要调整植入剂量和速率、温度和腔室压力。APPLIED MATERIALS 9200机器还具有先进的监控设置,具有实时电压和光束端口调整功能,以实现卓越的工艺控制。可用的监控选项包括表面剂量、剂量率和总剂量。此外,该工具能够检测和分析反向飞溅信号,以确保准确的植入深度。9200还提供了一系列令人印象深刻的高级功能,例如用户友好的触摸屏显示屏,可简单控制整个植入过程。它提供了一些安全功能,以尽量减少意外暴露于辐射的风险,并包括一个内置的辐射探测器,用于高级预警。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS 9200得益于一个可扩展的模块化平台,该平台可配备可选的样品装载机和质谱仪,以便进一步定制。总体而言,AMAT 9200是将离子高效准确地注入各种底物的有力工具。它提供了对植入过程的精确控制、出色的安全措施以及根据需要扩展和定制资产的能力。
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