二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500 #9226045 待售
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ID: 9226045
晶圆大小: 8"
Implanter, 8"
Bernas source
Belt drive
PA Tube
9600 Cryo compressor
LEYBOLD Turbo controller
Isolation transformer
Wheel, 8"
Fixed restraint
Clips & heat sink
Hollow gripper
Single position beam stop
Does not include:
Roots roughing pump
Source cooling tube & extraction
Turbo pump
Beam line roughing pump
Monitor or PC controller
Missing parts:
Chamber upper part electrical feedthrough
KF Blank flange
Side wall latch interlock override switch box
Board missing from above wafer arm servo chassis
Blade sensor & feedthrough
Cooling water pipework
ARGON Gas module
Gas box filament chassis
Artisan power supply & one board
Gas box
(3) High pressure gas panels
Upper & lower magnet coil
Push fit air connector
Batch notch orientor
BNO Micro controller
Front bezel & loader door pic
Cryo pump
SCIM Box.
AMAT/AE AMAT/APPLICED MATERIALS 9500是为精密晶圆植入而设计的高能离子植入器和监控设备。它是在半导体、MEMS等相关行业进行高质量植入的可靠、先进的系统。重离子植入器采用1250 kW热插拔电源供电，为等离子体和离子植入提供一致可靠的远束电流。它利用从0.1到2880keV的可变能量范围，可以处理高达9 "x 9"的样本量。可变植入物加速度电压（IAV）高达30kV,可变提取电压高达850V,可提供高精度的植入物,具有优异的稳定性和质量。AE AMAT 9500具有独立的植入物定位器，允许使用单个控制器同时编程多个离子。它包括一个自动铝蚀刻室和硅室，能够有效蚀刻和快速沉积植入材料。AE APPLIED MATERIALS 9500与其集成的低温控制装置一起，在植入过程中提供了良好的热稳定性。此外，该机还配备了反射反射监视器和光束监视器，确保与工艺工具精确对准光束。12.1英寸LED清晰显示器提供从植入开始到完成的整个植入过程的图形化可视化。实时数据记录与全周期记录一起加盖，以确保正确植入。为确保安全，AE 9500设计用于适当的辐射屏蔽，额定用于各种植入材料和同位素。坚固的机械结构是为卓越的可靠性和稳定性而设计的,它是为作为植入行业标准而设计的工具。
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