二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #9089626 待售

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ID: 9089626
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
High current ion implanter, 8", 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xR Ion Implanter&Monitor是一种先进的离子植入设备,能够进行非常精确的植入操作。这个系统能够将离子植入广泛的底物中,如半导体、金属氧化物和非金属材料。它是一个独立的单元,可以很容易地连接到PC。AKT 9500xR可以达到离子能量高达500keV,植入速率高达12 脉冲/nsec。这个单元上的离子源是一个高性能的热离子源,产生加速的离子束,可以调谐以植入到所需的材料中。离子源允许对离子能量和束电流进行精确控制,使得实现所需的植入物轮廓变得容易。该机还具有自动光束监视器(ABM),可实时监控和记录植入物参数。这提供了植入过程的详细图片,并允许对植入条件进行优化。该监视器还包括一个图形用户界面,可方便地操作植入参数,如剂量、离子能量和植入率。光束监视器还向操作员提供有关光束状况的反馈,并允许轻松调整离子能量以优化植入物轮廓。AMAT 9500xR的设计目的是为各种材料提供可靠、准确的植入效果。其精确度是通过其先进的光束控制技术实现的,该技术能够实现精确的能量控制和光束稳定。它还具有精确的离子偏转工具,可提供精确的光束聚焦.此外,该资产还包括若干内置安全功能,可防止操作员在电气故障时受伤。总体而言,APPLIED MATERIALS 9500xR Ion Implanter&Monitor是一个可靠和复杂的模型,提供精确和准确的植入结果。以其先进的光束控制技术、高性能的热离子源、详细的图形界面,是需要可重复一致植入型材的应用的理想选择。
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