二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #9121762 待售

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ID: 9121762
晶圆大小: 6"
System, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xR离子植入器和监控器是一种用于制造半导体器件的工具。用于将离子植入芯片或晶片基板,用于调节器件的电性能。AKT 9500xR是一个紧凑的单元,具有几个创新的设计,使其高效。该装置配有一台2兆瓦高压发电机,能够将离子加速至60,000伏的速度。这允许在将离子植入基材时提高精度和容量。生成器也可用于多种金属掺杂操作。AMAT 9500xR还包括一个等离子体控制单元,以帮助用户在植入过程中管理环境。这个单元包含电子压力、电压和温度传感器,可以精确控制等离子体环境。这有助于确保最大植入率的实现,而不会对基质造成任何损害。该单元还包括一个最大离子剂量控制设备。这个系统允许使用者设定一个剂量水平,在整个植入过程中会不断被监控。这有助于保证达到理想的植入水平。9500xR有一个粒子检测单元。本机利用快速扫描的电气方法检测植入室内存在的颗粒或污染物。这样可以确保在植入过程中保持所需的纯度水平。最后,该单元包括先进的触摸屏软件,帮助用户轻松管理和控制植入过程。该软件还允许存储和管理植入配方。总体而言,应用材料9500xR是将离子植入芯片或晶片基板的高效可靠的工具。该装置非常精确,其特点允许一个平滑和受控的植入过程。
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