二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Extration for xR80 #293671706 待售

AMAT xR80是一种先进的离子植入器和监控器.这台机器旨在以极高的精度和精确度将离子植入硅片等基材中。该xR80是xR系列产品中最先进的植入器,具有创新的高能耗和低能耗产品,以实现最佳的工艺精度和控制。它还具有先进的离子入射电流来源，使其能够提供更好的植入物均匀性。该xR80提供精确的光束参数,如光斑大小、电流设置和停留时间,以及最新的抖动抑制技术和闭环反馈控制。这样可以确保离子以高精度和重复性植入基板中。它还提供了一个独立的光束入射电流源，以最大限度地控制离子的植入均匀性和剂量。该xR80还具有增强的基板功能,具有广泛的基板尺寸和温度,以及先进的物镜设计,可提高均匀性,同时保持较小的光斑尺寸,特别是在低电流值下。该xR80还配备了自动化的流程例程,可实现精确和可重复的流程结果。该xR80还具有广泛的安全特性，以最大程度地减少错误的可能性，并减少损坏底物或分子的可能性。其中包括一套全面的保障和监控设备，车载机器诊断，以及一套先进的内置自检系统，可以检测故障和提醒技术人员。最后,xR 80的自动化维护和校准系统减少了停机时间,并确保了机器的最高性能水平。总之，APPLIED MATERIALS xR80是一种先进的离子植入器和显示器，旨在最大限度地提高准确性和可重复性，同时最大限度地减少误差和基板损坏。其高低能耗设置、先进的光束控制、自动化的工艺套路、全面的安全特性，使其成为高精度、高通量离子植入的理想选择。