二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR #187269 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500XR是一种最先进的离子植入器和显示器,旨在对离子植入过程中的能量范围和电流水平提供可靠和精确的控制。该9500XR允许对能量范围、电流水平和总离子剂量进行极其精确的控制，为半导体和其他相关行业的关键植入应用提供最佳的过程控制。该9500XR可植入高达250 keV的疫苗，其电流范围很广，可达50µA，最大剂量递送率为1.15 µA/cm2。其板载微处理器允许灯丝组件和气体进料的快速准确定位，以提供精确的能量范围和电流。该9500XR还结合了先进的数字信号处理（DSP），以确保精度和优化波束面积扫描。当与AMAT强大的光束定位设备（BPS）结合时，AMAT PI 9500XR提供精确、可控的光束定位控制。BPS能有效控制出射光束速度的加速和减速以及扫描校准和间距，以优化光束性能，达到所需的剂量递送速率。APPLIED MATERIALS PI 9500 XR的设计提供了质量高、稳定且可重复的离子束，空间电荷失真最小。该系统独特的枪炮设计，具有无限可调的几何形状，对光束点控制和锐度提供了非凡的控制。其侵蚀控制允许精确的源修复，而无需调整。该单位还拥有一系列安全和监测功能。其SiC传感器确保植入过程始终保持安全。此外,当超过最小电压设置或最大电流时,其自动机器会关闭电源。这有助于确保安全和可靠的过程,即使工具中存在波动。AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500 XR是一款先进、可靠、精确的离子植入器和显示器,有助于确保半导体和其他相关行业的最佳工艺控制。APPLICED MATERIALS PI 9500XR具有广泛的功能和强大的光束定位功能,可提供可靠高效的植入解决方桉。