二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR #9228574 待售
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ID: 9228574
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Ion implanter, 6"
Utility gas: (Gas name) / Pressure / Flow rate
Ar (Process Ar) / 6.3Kg/cm² / 0.1 SLM
PN2 Process Vent) / 4.2Kg/cm³ / 7 SLM
GN2 (Pneumatics) / 6.3Kg/cm^4 / 2 SLM
Exhaust (Type): Flow rate (CMM) / Size
Beamline / 17, 200 mm
Ion source / 5.66, 110 mm
Fly tube / 5.66, 110 mm
(2) Gas boxes / 5.66, 110 mm
Back & control / 11.3, 200 mm
Cooling water description: Pressure (Kg/cm²) & flow rate temp (« C) & size
Main unit: 4.9, 19-5 20~25, 3/4"
Heat exchanger: 4.9, 37.8, 20-25, 1 1/4"
Cryo compressor: 4.9, 13.5, 20~25, 1/2"
Processor module:
Front door: Cylinder swing type
Flat notch
(5) Cassette trays
Carousal
Cassette indexer
Wafer blade
Hollow gripper arm
Arm position sensor
Orienter sensor
Cleanroom I/F monitor: TFT & lightpen
VME: Mobile cont module
Wheel module:
Wheel std 25 h/sinks, 6" Si coated
Heat sink: 0°C
Standard PFS type
Advance PFS power supply
Standard scan system type
Spin system: DD Motor & motec
Tilt angle: 0~7°C
PFS Gas panel: Ar bleed box
HYT Sensor
Ferro seal flow meter
Source / Terminal module:
Ion source: Bernas type (No ovens)
No vaporizer
Filament P.S
Arc P.S
Extraction P.S
Extraction suppression P.S: Hitek series 1000
Source magnet extended
AMU P.S
Post acceleration P.S
Maximum post voltage: 160 kV
Extraction electrode: Dual bellows
MRS chamber exhaust
Facility module:
DI Water resistance control
Internal heat exchanger system
Facility entry direction: Bottom entry
Gas box module:
Gas box type (4) gas modules
Purge module high pressure (Ar)
Gas module 1 HP (BF3)
Gas module 2 SDS (SiF4)
Gas module 3 SDS
Gas module 4 SDS (AsH3)
Vacuum system:
Source turbo pump: LEYBOLD TMP-11000 C
Source turbo controller: LEYBOLD TMP-11000 C
MRS Turbo pump: LEYBOLD TMP-301
MRS Turbo controller: LEYBOLD
(2) Wheel chamber cryo pumps: CTI Torr-10 on board
(2) Cryo compressors: CTI 9600
Beam line dry pump: EBARA A07 V-B
Processor dry pump: EBARA 40 x20
(2) Gas box exhaust flow switches
(3) Ground lances
Drawings / Manuals
SECS Function
Light tower
Cryo pump removal rails
Control module
Control module: CRT Monitor
No alignment tools
DI Water digital indication
Mains matching transformer: STD Type (STL)
Isolation transformer: STD Type (STL)
Utility configuration:
Maximum extraction voltage: 220 keV
Tool specification: Line power
Maximum controller power: 85 kVA
Circuit breaker: 400 Amp
Input power: 203 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase+N
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500XR离子植入器和监控设备是半导体工业中最先进的设备。该系统结合了先进的离子束源，设计用于精确的能量、剂量、电流和脉冲宽度控制，允许极其精确的植入特性。此单元中使用的控制电路允许用户在植入过程中根据需要监视和调整参数。该9500XR包括三个主要组成部分：离子束源、初级加速电极机和离子束监控器。对离子束源进行了优化，以实现离子的精确控制植入，从而提供受控的均匀剂量的植入原子。初级加速电极工具由几个电极组成，用于控制离子和调节注入部位的电流。最后，离子束监视器允许不断监测离子束电流，并根据需要进行调整。9500 XR的离子束源采用了独特的三板设计，能够实现更高的总束电流和更高的植入率。该源能够在1微安培至20千安培之间运行，并提供高达9 A/cm2的光束电流。该资产包括一个可调孔径离子能量选择装置，用于选择所需的植入物能量。一次加速电极模型利用一系列参数变化的"IVG"电极精确控制光束能量等参数。设备中使用的高级控制电路允许用户在处理过程中监视和修改参数，以确保所需的植入离子均匀性。利用9500 XR的监控系统，可以实时监控光束电流、能量、脉宽、剂量等植入参数。监控单元还具有测量植入物部位光束电流、植入物能量和脉冲宽度的探头。机器还包含数字反馈控制系统，允许操作员在需要时即时调整参数。总体而言，AMAT PI 9500XR离子植入器和监控工具是精确控制离子植入的一种强大而通用的工具。由于其三板离子束源、可调孔径离子能量选择装置和先进的控制电路，该资产在剂量和植入能量控制方面具有极高的精度。现场监控模型允许用户在植入过程中实时监控和修改参数。该9500XR是获得集成电路最佳植入效果的宝贵工具。
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