二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap 3 #9192602 待售

ID: 9192602
晶圆大小: 8"
Process module wheels, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap 3(QL3)是一种先进的离子植入器和半导体生产监测器。这台机器将卓越的性能与运营效率和成本节约相结合。在25-400千电子伏特(keV)的最大能量范围内,QL3提供了非常精确的植入和性能结果。它是一种高度可靠和坚固的机器,专为在洁净的房间制造环境中扩展操作而设计。AMAT Quantum Leap 3能够满足许多先进半导体工艺的需求。它具有较高的吞吐量和精密的离子束操作能力,并结合先进的束控制技术,以实现最高的效率。增强的光束控制可以提高稳定性和准确性,特别是在植入物均匀性方面。此外,高度可配置的平台允许对每个植入过程进行全面优化。QL3离子植入系统采用专门设计的硬件和软件体系结构。植入器配备了强大的处理器,可快速处理大型指令集和长时间的作业运行。软件为操作员提供了对植入物的精确控制和监控参数,使他们能够优化植入物参数以获得最准确的结果。QL3由离子植入器和监控器两个不同的组件组成。离子植入器是一种将金属离子加速进入晶圆基板的高压低压装置。它由多个阶段组成,如加速电极、聚焦光学器件、等离子源、离子源以及在真空下包含的整体。该显示器采用最先进的扫描探针显微镜来监测和验证离子植入过程。最后,离子植入器和显示器具有先进的诊断功能.这允许对植入过程进行深入分析。再者,这些工具可以用于预防性维护、过程优化以及其他与离子植入有关的任务。APPLIED MATERIALS Quantum Leap 3系统确保了半导体生产的最高性能和可靠性。
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