二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap II #293724672 待售

ID: 293724672
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Ion implanter, 8" FOUP Factory interface Quantum leap implanter CIM Linked Heat exchanger 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap II是一种离子植入器和显示器,旨在提供离子植入的精度、重复性和准确性。该设备具有用于精确离子束操作的高压电源和用于均匀离子注入的最先进的光束剖析系统。AMAT Quantum Leap II还提供跨晶圆和跨基板的卓越均匀性,使您能够优化过程性能。此外,该装置还能产生极好的光束均匀性和高剂量可重复性,确保每个植入过程的准确和一致的收率。APPLIED MATERIALS Quantum Leap II专为提供一流的光束成像和均匀性性能而设计。激光图像检测器有助于确保离子束均匀且形状准确,以改善植入。还可以通过USB连接从光束控制站远程优化离子束,以便在延长操作期间实现最佳的植入精度。此外,光束监测机对植入部位进行全面控制和反馈,提高了数据准确性,节省了成本,显着降低了基板污染的风险。Quantum Leap II包括一个高频电源,可在广泛的工作范围内提供100kV和1MHz,以实现出色的离子稳定性。这一特性允许在植入过程中通过最小化气体电离副作用进行精确的光束控制。此外,高压电源还具有自检模式,用于验证所有刀具组件是否处于正常工作状态。这使资产能够保持符合植入器的工艺规范。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap II具有自动真空模型和强大的非反应性光电离真空量表。这种设备保持极好的真空水平,并防止组件变得过热或充电。此外,它还保证了植入压力的不断监测,以提高精度。AMAT Quantum Leap II还包括用于植入后清洁和净化的射频等离子体清洗。这个系统提供了一个温和的清洁和净化过程,去除杂质由于植入和防止辐射损害相邻基质。最后,APPLIED MATERIALS Quantum Leap II包括一套精密的可编程安全协议和情境分析系统,以确保适当的操作和人员安全。这些安全功能包括冗余的安全电路,可提供更强的保护,抵御突然的电压激增和其他危险情况。当情况变得不安全时,该装置也会自动中止植入过程,从而保护人员和设备免受潜在的损害。
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