二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap II #293755366 待售
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ID: 293755366
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Ion implanter, 12"
Process: Low energy implant
FOUP Factory interface
Quantum leap implanter
NOVAPURE egs237 scrubber
Heat exchanger
CIM
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap II是一种离子植入器和显示器,专为晶圆加工而设计.它使设备制造商能够以更低的成本和更低的能耗实现更高质量的半导体器件。该机器能够以高达40MeV束的能量植入高能和非高能物质,并能够实时监测粒子微量测量。AMAT Quantum Leap II专为易于使用而设计,具有直观的图形用户界面和用于配方管理的高级配方功能。它还具有集成的颗粒去除控制器,以确保高质量的植入物。此外,该系统还具有高分辨率成像监测系统,利用先进的模式识别算法准确控制植入物种的轮廓。APPLIED MATERIALS Quantum Leap II的植入功率由高效供电阶段提供,可提供高达60A的功率。这一阶段得到了集成离子源室的补充,该室按照与AMAT离子植入技术相同的标准建造。这样可以实现最佳的离子生成模式和光束提取效率。为了实现最大程度的过程控制和植入的均匀性,Quantum Leap II采用了专利光束监测显微镜。这种显微镜实时监测光束强度、轮廓和粒子通量。特殊的高级光束控制面板允许用户精确调整光束发射和植入参数等参数,以获得最佳的工艺性能。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap II还提供了许多高级功能,如腔室污染监控器、高通量和高端精密工艺控制。其独特的加载弹匣使用户能够方便的将每天多达3000个晶片加载到植入室,允许灵活的植入和工艺优化。AMAT Quantum Leap II是一款功能强大且用途广泛的工具,适用于希望以降低成本实现更高质量设备的设备制造商。凭借其直观的用户界面和先进的功能,他们能够获得卓越的过程控制结果和世界级的产品质量。
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