二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap III #9086473 待售
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ID: 9086473
晶圆大小: 12"
High current ion implanter, 12"
Mini E: Felcon unit fitted, No UCAS
MMTX
VME
Light tower fitted
Post Accel QIII Type
Tilt: +/- 15°
Scan and beamstop mods
QIII ABM Option fitted
(6) Positions gas panel
(1) High pressure toxic module
Source: QIII with (4) pin connectors
IHC Chassis: Single Arc PSU
DSP Type: 0100-00838
Tetrode version:
Surge R: 9090-01382
PSU: 1140-00161 (A1028760)
Extraction area:
EVR fitted
Delate: 0100-01445
Pre Accel PSU: 9090-00397ITL
Leybold Mag drive Digital controller
VME & Main PDU Side
On-board CTI Cryo controller
Pumps removed
CE-Marked.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap III (QIII)是一种离子植入器和监控设备,设计用于在生产过程中提供高度精确和精确的剂量控制。该系统的脉宽调制(PWM)技术在低至中等能量状态下驱动着各种离子,以适应大量的植入物应用。利用两个加速器源之一,QIII能够调整和维护每个过程的滞后状态。QIII具有集成的高灵敏度光束位置监视器(BPM),可随时计算光束位置,允许并行校正直线误差和精确的目标对准。其集成光束成形单元(BSS)还提供了均匀的光束轮廓,以实现运行和批次之间的一致性。此外,如果非标准植入物需要在较快的时间内完成,可以用快速弧形表升级QIII。机器的开放式平台能够处理标准和非标准植入物配方,每一种配置都作为布局保存在工具中。此外,它的可自定义硬件设置允许进行精确的逐个运行调整,以适应不同的植入物布局,并减少停机时间。QIII还可以在快速和缓慢的过程中运行,允许用户调整剂量率以达到更高的吞吐量产量。为了确保植入过程中的准确性和安全性,QIII具有一系列警报和关闭功能。在发生故障时,资产设计为快速关闭,以减少可能发生的任何潜在损坏。最后,该型号的广泛服务菜单提供自动诊断,有助于快速诊断和修复任何问题。AMAT Quantum Leap III (QIII)是一种可靠、精确的离子植入器和监控设备,非常适合处理中低能量植入物。它的各种定制选项使其成为各种植入物应用的理想选择,其集成的警报和关闭提供了必要的安全性和准确性。
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