二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9228096 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus
ID: 9228096
晶圆大小: 12"
High current implanter system, 12" Single wafer.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一款高精度的离子植入器和监控设备。它是一个高性能系统,旨在满足当今半导体应用的严谨需求。它能够提供精确的植入物和精确的粒子束监测能力,用于先进的设备处理和控制。AMAT Quantum X Plus是一款高端多光束植入器和监视器,具有强大高效的腔室和光束线控制。该单元配备了三轴光束轴,具有紧凑的初级离子源设计,以及一个大腔室内部,可以快速处理大基板。它能够为先进的设备处理和控制提供精确的植入物和粒子束监测能力。APPLICED MATERIALS Quantum X Plus的主要特点包括一种低发射的一次离子源设计,不需要束流陷阱,以及低功率的高密度植入物。它还具有先进的光束调谐机,能够精确控制光束参数,以提供高产植入物。此外,Quantum X Plus还集成了光束电流、位置和温度传感功能,可实现精确的拍摄到拍摄控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus还利用真空密封的屏蔽外壳防止基质侵蚀和颗粒到达植入物表面。端板和植入室设计为提供高精度和均匀的植入物,隔离器可以减少污染物,提供极低排放的植入物。此外,利用Proteus系列离子助推器,AMAT Quantum X Plus可以达到高达240 keV的最大植入能量,确保高精度和均匀的离子植入。最后,APPLIED MATERIALS Quantum X Plus还具有强大的数据采集和分析工具,用于实时设备表征和分析。该资产还通过其ARC软件套件提供了改进的可追踪性和控制功能,使用户能够完全控制每个植入参数。此外,种类繁多的工具和配件使Quantum X Plus成为先进设备表征和低成本制造的理想车型。
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