二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9248922 待售
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ID: 9248922
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2007
High current ion implanter, 8"-12"
FI + Load ports
Quantum III beam line
Beam line module
Beam line rack
Processor rack
Processor module
Ion source module
Computer table
Accessories
Mains matching transformer
ISO TX
Roof panels
Enclosure ends panels
Doors
Ground plane rack
Ground plane ISO TX to rear of processor
Quantum X plus safety guards
Cryo lift rail long
Goal post
Enclosure rails
Earthing lances
Earthing blade assy
Earthing blade shaft / Handle
Beamline doors enclosure
Beamline door struts
Beamline extraction
Beamline ground plane
Cryo lift rail
Roof extraction
Lights and diffusers
Monitors
Enclosure doors
Compressor
Heat exchanger
Turbo pump
Cryo Pump with cage
2D Isocentric scanning system
With high tilt up to 60°
Frequency: 50 / 60 Hz
Full load current: 125 A
Overcurrent protection: 150 A
Chillers
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter&Monitor是一种先进的工具，设计用于高批量生产中高效准确的离子植入过程。AMAT Quantum X Plus是一种最先进的离子植入器，通过其高科技特性和设计改进了现有的离子植入器。APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter&Monitor的设计采用了卓越的光束成形技术，允许在将离子植入晶片时获得卓越的精度。它还具有一个独特的中性束分散设备，增加植入的面积覆盖。此外，它还有一个集成的高公差主动中性光束成形系统，可最大程度地减少锥度效应和不均匀植入。Quantum X Plus还被设计为为各种植入过程提供高速度和准确性，与其他可用系统相比提供优越的性能。其高剂量率能提供4-7 dpa/min的植入剂量率，高通量植入的卓越分辨率，扫描速度高达1000-5000 Hz。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter&Monitor还配备了多种传感器，为操作员提供反馈并监控环境状况。AMAT Quantum X Plus还设计了一个强大的安全单元，其中包括防辐射、故障诊断和防备事故。此外,APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter&Monitor采用高端软件包设计,可为操作员提供对离子植入过程的精确控制,从而允许自动化过程与操作员进行最少的交互。总之，QuantumXPlusIonImplanter&Monitor是一种技术先进的机器，旨在提高晶圆大批量生产中离子注入过程的精度和效率。该工具提供了高速实施过程、精确的光束成形、更大的植入面积覆盖范围以及强大的安全系统。这种高度复杂的资产提供了理想的解决方桉,可在需要精确和可靠性的应用程序中获得卓越的结果。
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