二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9379893 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一种集成的离子植入器和监视器,旨在对加工过的材料提供更好的电源控制。AMAT Quantum X Plus设计高效，具有高精度、高分辨率的光束控制，允许更精确的剂量校正和更好的植入物均匀性。该设备采用新的64位处理器,可提供更大的处理能力和强大的数据分析能力。APPLICED MATERIALS Quantum X Plus具有多通道E-gun，旨在提供更好的光束稳定性，并允许等离子体均匀性和最小的污染。它的建立是为了提供来自晶圆表面的离子物种的恒定能量反向散射，允许使用者精确设定每种粒子物种的剂量。Quantum X Plus有一个直观的用户界面，可以轻松设置和执行植入配置文件。该系统包括一个多螺纹离子束监视器，可以实时控制和监测植入物。植入物的数据可以很容易地导出到其他系统进行进一步的处理或分析。该单元还能够提供用于过程验证的粒子分析。这样就能够在植入之前检测晶圆中的缺陷。此外，还可以使用高精度的束塞，防止粒子进入目标区域之外。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus具有多级源磁体，提供更均匀的植入物分布。该机还包括一个多区端站，其设计提供更好的等离子体均匀性和最小化颗粒污染。端站还采用了改进的气体输送工具，提供了更高的光束稳定性和均匀性。此外，AMAT Quantum X Plus设计为安全可靠，内置安全互锁资产和主动安全监控模型。设备还配备了智能温控系统，保证每个周期都有高质量的植入物。总体而言,APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一款先进、高效的离子植入器和显示器.它提供了卓越的光束控制和监控能力，以及用于工艺验证的粒子分析。它的设计是为了安全可靠，有多个安全系统到位，以确保稳定植入物在每个过程周期。