二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X #9225919 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X是一款高功率的离子植入器和显示器组合设备。该系统旨在促进半导体器件制造中离子植入物的有效植入和监测。这个组合单元由一个高能离子植入器以及一个光学发射光谱仪（OES）组成，用于测量植入过程中离子掺杂水平。AMAT Quantum X植入物可以容纳多个离子源，包括硼、硼化合物、碳、氮、磷、砷、移植物和其他掺杂剂。它具有广泛的能级和离子质量，具有高达350 keV和10-25 µm点大小的可调光束同心度。它还具有受射频保护的真空室，能够植入高度敏感的化合物。此外，它还利用先进的闭环控制机器来确保材料沉积的精确控制。该工具的OES组件有助于在植入过程中实时测量离子掺杂水平。利用双通道光谱仪，将检测范围从185 nm扩展到1000 nm，OES测量掺杂剂的活性浓度，同时确保高信号灵敏度和可重复性。此外，嵌入式算法可以识别和报告植入过程参数的不稳定性，以快速识别和解决植入异常。高功率离子植入器和光发射光谱仪的结合使应用材料量子X成为先进IC器件高通量制造的理想选择。通过允许快速、精确地植入和测量离子掺杂水平，降低了工艺变异性，提高了器件产量。它还提供了易于使用的图形用户界面（GUI）,可帮助进行编程、监视和数据日志记录。为确保可靠运行，Quantum X包含了离子源触发和远程关闭等几个安全功能。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X凭借其强大的设计和内置的性能监控资产，可以与各种先进的等离子体蚀刻和沉积工艺相结合。其耐用性和柔韧性使其成为半导体器件和MEMS制造的理想植入物模型。