二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum #293671945 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum
ID: 293671945
晶圆大小: 8"
Implanter, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum是用于提高半导体性能的离子植入器和监测器。它旨在将离子精确地输送到微电子工业半导体元件制造中所用的材料中。AMAT Quantum配备了多个离子源、高度精密的软件包以及高精度的光学和磁性传感器。它可以容纳尺寸可达300毫米(12英寸)的基板。APPLIED MATERIALS Quantum包括一个线性加速器,利用高能单向光束将离子传递到目标。它还提供先进的离子源技术,并根据客户的需要选择几种类型的离子源。离子源包括电子回旋共振(ECR)、离子注入和聚焦离子束(FIB)。ECR和离子注入适合于金属和其他导体的制造,而FIB系统则可用于将离子沉积在很小的区域。Quantum还有一个先进的软件包,可以编程给离子束精确的控制。该软件可用于离子注入、离子沉积或表面污染监测等过程。该软件还可用于制作植入结果的详细报告和分析。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum还提供高精度的光学和磁性传感器。这些传感器用于检测和控制离子束和系统其他元件的位置。传感器用于测量植入物角度、剂量和光斑大小。综上所述,AMAT Quantum提供了一系列用于离子植入和监测的先进技术和软件。它设计用于将离子精确输送到半导体基板中,并提供高精度传感器,用于测量和控制植入物角度、剂量和光斑尺寸等变量。应用材料量子是任何半导体生产线必不可少的组成部分.
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