二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / VARIAN Solion+ #9130270 待售
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ID: 9130270
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
High current implanter, 12"
S2 Compliant
Chiller
(2) Cryo pumps
(4) Turbo pumps
(3) Dry pumps
2013 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN Solion+是一种先进的离子植入器和监视器,它提供了对种类繁多的半导体材料的精确离子植入。它是半导体工业中的一个关键设备,因为它能够为各种设备生产元件。可以对该工具进行编程,以创建更好地满足客户需求的组件,并在生产满足客户需求的组件(如晶体管、二极管和电容器)时提供更高的精度。AMAT Solion+配备交互式软件和LCD触摸屏显示屏,便于操作,提供高效准确的材料植入。它具有最大的晶圆处理能力,可提高生产率和减少工时。此外,它还具有计算驱动的植入过程控制系统,大大提高了颗粒植入过程的精度。VARIAN Solion+的监视功能是无与伦比的,总共提供了四个单独的视图。通过监测光刻工艺,确保最大精度和一致性。不仅APPLIED MATERIALS Solion+能够精确定位过程中任意点的粒子放置和测量,还能产生质量、电荷、能量等过程参数的实时反馈。监测员还保存历史数据,供今后参考和分析。Solion+是一种优雅且精心设计的离子植入装置,允许操作员推动其生产机器的容量。它结合了高级软件、LCD触摸显示器和精确的监控功能,可确保最大程度地控制过程,并确保始终生产组件的准确性。
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