二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Wheel for 9500 #9261936 待售

AMAT 9500-Wheel是一种用于半导体制造过程的离子植入器和监测器。这项先进技术非常适合高功率植入过程。该9500-Wheel旨在将离子植入晶片中，并监测植入的速度、均匀性和剂量。车轮由一个基轮和一组带电粒子源模块组成。该9500-Wheel利用多弧离子植入器向晶片中注入离子。这种离子植入器和监测器可用于各种后端半导体生产过程，包括植入、涂层和溅射。该9500-Wheel是为高性能而设计的离子植入器采用多弧布置方桉，使精确植入。这种安排允许用户产生和注入高剂量的离子，确保离子分布均匀和准确。车轮具有多源设计，允许用户独立控制每个单独源的发射电流、源电流和离子电流。此外，车轮可以根据每一个过程的需要进行调整。该设备提供对离子束位置和发散的灵活控制，并提供扭矩补偿以保持均匀覆盖。根据应用程序的不同,9500-Wheel具有广泛的离子源。该系统旨在提供标准和增强的离子源。标准离子源提供从低到高的广泛离子能量的一般植入。增强的离子源提供高剂量和均匀性，这对于现代离子植入过程至关重要。此外，该装置还配备了多通道孔隙检测机，能够准确检测被植入材料中的孔隙的存在。该9500-Wheel还提供了一系列监控功能。其先进的监控工具旨在监控整个植入过程，从源头准备到植入。这项资产提供洞察哪些需要在过程中进行调整，以确保成功植入。该模型旨在监测离子剂量、植入角和晶圆温度等重要参数。此外,显示器还提供有关源稳定性、光束轮廓和源位置的反馈。总体而言,APPLIED MATERIALS 9500-Wheel是用于高级离子植入和监测过程的强大工具。这种离子植入器和监视器为高效和准确的过程提供了广泛的特性和功能。该9500-Wheel旨在提供一致、均匀的高剂量植入，使其成为现代半导体生产工艺的理想解决方桉。