二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR120 #293627742 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS xR120
ID: 293627742
晶圆大小: 8"
High current implanter, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS xR120离子植入器和监控器是一种高度先进的下一代技术,旨在在将多种离子植入基材时提供卓越的性能。该设备采用RF(射频)直线电机、高压发电机和数字控制的组合,精确控制植入过程,提供准确、可重复的性能。AMAT xR120离子植入器是一种单面高电流系统,在高能量下可以植入高达120 KW的速率。这个单元使用高压发电机在表面和源之间产生电位差,允许离子以极高的速率植入。在该过程中,APPLIED MATERIALS xR 120的高精度离子控制系统测量和监测光束能量、电流和剂量,以及其他因素,以确保植入过程的准确性和可重复性。xR120采用的先进射频直线电机技术确保了精确、精确的离子束定位和控制。该技术用于控制离子束的倾斜度和位置,允许精确地将精确剂量植入基质中。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS xR120还利用精确的激光和光束控制机制,确保对任何残留离子进行精确植入和精确清理,在底物中提供均匀、均匀的离子层。除了精确的植入和控制外,AMAT xR120还提供了卓越的监控能力。这台机器利用自动化监控平台,在整个植入过程中不断监控温度、压力和其他参数,向操作员提供反馈,以确保一致的植入体验。APPLIED MATERIALS xR120离子植入器和监控器是一种功能强大、最先进的工具,旨在确保将各种离子精确、可重复地植入基质中。先进的射频直线电机技术、高精度的离子控制系统、精确的激光光束控制机构、自动化的监控平台都齐聚一堂,提供卓越的性能,使xR120成为任何植入过程的理想选择。
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