二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR120 #293816344 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS xR120是一种大面积的离子植入器和监控器,可提供准确高效的性能,满足各种工业和科学需求。AMAT xR120具有强大的溅射离子源、集成的光学器件和大而易于读取的显示器,非常适合所有类型的离子植入应用。APPLICED MATERIALS xR120利用高频电源产生一束离子束，然后将其指向要植入的基材。光束能量通常在30至120 keV的范围内，光束电流可在0.1至1000的范围内调节。该设备可用于植入包括硼、氮化物和磷在内的多种离子。XR120还包括一个包括高分辨率位置传感器、多个离子和电子探测器的完全集成的监控器系统以及一个集成的电荷状态监控器。监控单元允许精确控制和调整离子植入过程，允许离子剂量、角度分布和光束位置的自动微调。AMAT/APPLIED MATERIALS xR120非常适合各种不同的植入过程,包括晶圆级植入、基于掩模的植入以及顺序或局部植入。该装置能够达到极好的均匀性水平，非常适合需要低离子扩散的植入程序。AMAT xR120是那些需要可靠和高效的离子植入器和监视器的理想设备。APPLIED MATERIALS xR120允许对离子植入过程进行精确控制,其集成的监控机器确保该过程安全、高效和可重复。对于精度和可靠性至关重要的工业或研究应用来说，这种设备是一个很好的选择。