二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR200 #293814441 待售
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ID: 293814441
晶圆大小: 6"
优质的: 2000
Implanter, 6"
Central Processing Unit (CPU): MVME162-P244LSE
Gas box:
BF3 Safe Delivery System (SDS)
PH3 Safe Delivery System (SDS)
AsH3 Safe Delivery System (SDS)
SiF4 Safe Delivery System (SDS)
Argon (External Feed)
Chamber: CT-10 Cryo pumps
Source turbo: STP-1000C
Mass Resolution Slit (Mrs) turbo: STP-361C
Source backing: QDP40
Wafer loader: QDP80
EH500 Blower
Source type: Indirectly Heated Cathode (IHC)
Enlarged chamber
High Density Plasma Flood System (HDPFS)
Wheel: DIRECT DRIVE
Wafer on gripper sensor
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR200是一种先进的离子植入器和监控器,可对多种材料进行高精度处理。该模型特别适合于芯片制造,可以控制每个离子植入物的精确深度和组成。AMAT xR200提供了许多令人印象深刻的功能,使其非常适合各种应用程序。它具有高精度的四轴移梁器,能够准确控制植入梁的方向和角度。这有利于达到最终产品所需的确切化学成分。此外,该机具有高分辨率的计算机控制的光束发生器,可以为每个植入物提供精确的光束成形和调制控制,允许非常精确和准确的结果。机器配备了一个清洁站,可以方便地处置和处置植入过程中产生的不需要的颗粒。这有助于减少停机时间和提高植入质量。此外,APPLIED MATERIALS xR200有一个内置的光束监视系统,可在植入不在指定参数内时监视植入光束并向操作员发出警报。这有助于确保植入结果成功和一致。XR200包括一个自动配方加载程序,允许操作员使用直观的图形用户界面加载和存储植入参数和配方步骤。此功能显着缩短了安装时间,并支持最高效、最精确的植入过程。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS xR200是精密半导体加工的理想解决方桉。其先进的特性和工具使得它非常适合广泛的应用,从芯片制造到其他离子植入应用。其高精度控制、自动配方装载机和波束监控系统确保操作员每次都能取得最佳效果。此外,机器直观的用户界面和易于使用的清洁站使其易于使用和维护。AMAT xR200具有令人印象深刻的特点和性能,是实现半导体加工精度和可重复性最高水平的绝佳选择。
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