二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR200 #9032623 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS xR200是一种离子植入器和监控设备。它被用于半导体和微电子工业中，以创造和监测离子注入，这是生产半导体元件必不可少的过程。AMAT xR200是一个独立的系统，提供高通量和高效的离子植入。该单元包括离子源、加速器部分、减速器部分和装配线。离子源负责产生所需的离子类型和数量，然后这些离子沿着加速器截面加速到所需的速度和能量。然后他们进入减速器部分，其中所需的离子特性被操纵，以控制他们的位置和剂量率独占。一旦设定了所需的特性，离子就会以正负的毛毯剂量注入装配线，这取决于所需的植入物种类。在植入过程中可以调整剂量率，使用户能够在整个底物上保持所需的掺杂水平。一旦进入装配线，离子就被监控，可以调整植入参数。APPLIED MATERIALS xR200是一种高度精确的机器,分辨率为光束电流的0.1%。这使得对植入物剂量的控制极为精确和可重复，使得该工具适合用于各种植入物种类。其先进的控制系统还在温度变化下提供了卓越的稳定性，确保剂量率稳定恒定。此外，xR200还配备了一系列安全功能。它的安全互锁资产可防止操作员意外接触超快速带电粒子和射频能量,而Fault-Safe功能可确保模型在发生故障时关闭。综上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS xR200是一种准确可靠的离子植入器和监控设备。其高通量、高效率的运行使其非常适合用于半导体和微电子生产过程，而其先进的安全功能为用户提供了更多的安心。