二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR80 #9262468 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS xR80
ID: 9262468
High current implanter.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR80离子植入器和监控器是一种前沿植入器技术,旨在提高离子植入过程的生产率和准确性。AMAT xR80是一种高功率、高精度的植入器,它允许更大的过程重复性和改进各种材料的植入。在离子注入中,加速离子束用于通过将原子从束转移到基板上来修改基板材料的性质。APPLIED MATERIALS XR 80使用静电法加速离子束。它配备了先进的光束电流监测器,能够控制电流,以确保植入材料的精确和可重复性。这种精度是通过使用植入器的高精度、真空绝缘离子源、离子滤波器和多束设计来实现的。APPLIED MATERIALS xR80还包括各种过程监控功能。配备了运行结束传感器、前馈扫描校正、24小时流程监控系统以及多种其他质量控制功能。所有这些特性都允许改进过程控制和可重复性,以及改善同一基板上多个植入物之间的重复性。AMAT XR 80还利用专有的高速数字通信接口进行有效的光束控制。这种高速数字通信接口允许即时光束控制和优化,以提高植入过程的生产率和效率。XR80还拥有业界领先的真空绝缘离子源,可提供高产率和均匀性的植入材料。这种先进的离子源还可以提高光束稳定性和位置精度,允许更大的结深和更好的深度均匀性。XR 80还能够延长0-80 keV的电压范围,允许多种高能植入物。AMAT/APPLICED MATERIALS XR 80除了其植入能量范围广泛外,还提供了无与伦比的位置精度和可重复性,允许高长宽比口罩中的精确植入。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS xR80是一种顶级的离子植入器和监视器,提供卓越的离子植入过程。其先进的光束控制系统和高精度元件,使产品产量和工艺均匀性得以提高,成为精密植入工艺的理想选择。
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